开创真空产业发展新时代

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分子增压泵是深圳大学储继国教授从事分子泵研究取得的原创性科技成果，该泵的问世，开创了多项世界第一世界上第一台兼有中，高真空双重性能的真空泵世界上能耗最低的中、高真空泵：世界上首次在采用有油粗真空泵的大型设备中，获得了清洁的中、高真空运行最可靠的分子泵，攻克了传统分子泵易发生打片损坏的一大缺陷。

优越的性能为分子增压泵赢得了数不尽的荣誉荣获第47届尤里卡世界发明博览会金奖第十届中国国际高新技术成果交易会优秀产品奖；2008年，储继国教授应邀访问美国VARIAN公司，向国际知名企业提供分子增压泵技术咨询，携分子增压泵迈出了进入国际主流市场的步伐。VARlANd司还对该泵作了全面测试，并给予“DEEPIMPRESSION”的高度评价，认为分子增压泵将会占据全球大部分中真空泵和高真空泵市场。

三十年铸就原创成果：分子增压泵

储继国，深圳大学物理科学与技术学院教授，“现代分子泵统计理论”、“涡轮分子泵微分网络理论”和“牵引分子泵自泄漏理论”的创立人，多项高新科技成果专利持有者，曾多次在JournalofVacuumscience＆Technology，Vacuum等权威期刊。他攻克了理论，结构和制造工艺等难关，研制出世界上第一台兼有中，高真空双重性能的新一代分子泵――分子增压泵，并成功实现了产业化。该泵的问世，取代了大部分中，高真空的主流泵种罗茨泵、扩散泵和分子泵，将我国分子泵产业提升到国际领先水平，推动真空产业进入一个低能耗，无油蒸汽污染的新时代。

十年理论探索、十年精心研制、十年实现产业化。储继国三十年铸就了原创成果：分子增压泵。还只是一位大学本科生时，储继国就已经与分子泵结下了不解之缘。当时，分子泵问世不久，该泵结构奇特。价格昂贵、性能优异，引起了他的极大兴趣。1978年，作为后的第一批研究生，他在中国真空学会理事长，复旦大学教授华中一先生指导下，开始从事分子泵的研究工作1979年，他发现Becker(现代分子泵的发明人和该泵牵引理论的创立人)理论中存在的原则性错误：1980年，在华中一教授的指导下，他创立涡轮分子泵的统计理论，揭示了现代分子泵的工作机理，以及指出了现代分子泵与牵引分子泵的根本差别，为80年代开始的分子泵产业高速发展提供了理论基础，并为牵引分子泵(分子增压泵属于牵引分子泵大类)的发展指明了方向；1982年，储教授创立的统计理论在真空科技领域的权威杂志JournalofVacuumScience&Technology上发表，Becker博士高度肯定了储教授对他的理论的修正，还特意派人向储教授转达了自己的谢意，1993年，他创立了分子泵的微分网络理论，为现代分子泵的定量设计提供了平台。

1986年，储教授带着分子泵理论研究的初步成果，来到了深圳大学。1992年，根据理论研究的成果，储教授研制成功了世界上第一台分子增压泵，将分子泵复杂的涡轮转子全部简化为平圆盘，该项成果获得了鉴定专家组的高度评价。1999年，他的第二代分子增压泵样机在“首届中国国际高新技术成果交易会”上展出，入选为重点推介项目，国内外几十家厂商对合作开发该项成果表示出浓厚兴趣，但由于制造工艺上的困难，未能实现产业化；2006年，储教授和深圳市摩尔真空技术有限公司合作，攻克了分子增压泵制造工艺难关，实现批量生产2008年，分子增压泵出口VARIANSDBUSCH等国际知名公司，开始进入国际市场；2008年10月，分子增压泵参展“第十届中国国际高新技术成果交易会”，获优秀产品奖……

一年一年，他就这样走来，在这条分子增压泵的研发之路上，他走得辛苦，却快乐。春去秋来，他的研究也到了收获的季节，取得了一系列享誉中外的成果。

加速国际真空技术的前进步伐

分子增压泵是一种基于分子牵引原理的新型真空泵，它的特点是节能、清洁、超强的中真空抽气能力。这些特点使传统的真空领域面貌一新，还将开拓出潜在的真空应用新领域。

分子增压泵主要用于光电子器件，太阳能电池、真空镀膜、真空焊接，真空铸造和真空热处理等高新科技产业，以及高能加速器，等离子体核聚变、同步辐射源、高能粒子对撞机和宇宙仿真等现代科学研究项目，为其提供极其清洁的真空环境，市场前景十分广阔。

当前，在中、高真空应用领域中，主要使用的真空泵有三种：罗茨泵、扩散泵和涡轮分子泵(简称分子泵)。在早已“三足鼎立”的真空泵行业之中，储教授和他的研究团队发明的分子增压泵如何能占得一席之地?只因分子增压泵坐拥五大优势节能、清洁、抽气量大、运行可靠和市场潜力大。国际领先的技术，优异的性能，是分子增压泵一骑绝尘的根本原因。目前，分子增压泵的性能在与三大真空泵的全方位比较中已经遥遥领先，一旦该泵大批量生产，必将取代现有大部分罗茨泵、扩散泵和分子泵，极大地提高相关真空企业的经济效益，大幅度提升我国真空产业的水准，并推动国际真空产业进入一个低能耗，无油蒸汽污染的新时代。

诱人的市场前景

根据中国真空网最新资料，我国对真空泵的需求呈现逐年递增的趋势，有着诱人的市场应用前景。以2008年为例，我国罗茨泵、扩散泵和分子泵的年销售量合计1.2万台。

目前，分子增压泵的制造技术已经攻克，进入小批量生产阶段，产品已成功用于十余个不同的真空应用领域。例如，分子增压泵已成功应用于中国科学院近代物理研究所的重离子加速器和等离子体物理研究所的人造小太阳等重大科技装置，以及低辐射玻璃、ITO玻璃，彩色滤光片钛金镀膜设备、大型蒸发镀膜机、高纯度生物制品的分子蒸馏，稀土永磁材料熔炼和石英管真空脱羟炉等领域，取得了节约能耗80％～90％，产品质量显著提高等优异成绩。典型应用实例如下：

大型蒸发镀膜设备

2009年5～7月，上海三井真空设备和深圳市振恒昌实业有限公司分别将分子增压泵用于大型蒸发镀膜设备取代现有的大型扩散泵和罗茨泵，取得了一系列成果：节能80％，年节电30万度／台；消除膜层泛黄现象，显著提高产品质量，抽气时间减少30％，生产效率提高20％；投资回收期短。该应用项目开创了无扩散泵、无罗茨泵，清洁、低能耗大型真空蒸发镀膜的新时代。

目前，全国在用大型蒸发镀膜设备约5，000台，这些设备全部改造，年节电达15亿度!目前，珠三角地区大型蒸发镀膜设备的节能改造工作已经启动。

我国真空界资深专家上海真空学会副理事长蒋新元研究员、上海真空泵厂郑主安高级工程师等业内专家现场参与了该项目的测试工作，并给予了高度评价：“该项成果是国际真空技术的重大突破，将开创具有自主知识产权、清洁，低能耗大型真空蒸发镀膜的新时代。”该项目于2008年由深圳市产学研基金立项资助。

重离子加速器

2007年，分子增压泵用于中科院近代物理研究所的重离子加速器，成功取代液氮冷阱+罗茨泵，在国际上首次攻克了中真空大流量差分系统的油蒸汽污染难题。该项目获得2007年国家自然科学基金立项资助。

稀土永磁材料熔炼炉

2008年，浙江英洛华磁业有限公司将分子增压泵用于改造稀土永磁材料熔炼炉，取得了节能91％，每台熔炼炉年节电4.5万度的好成绩。2009年计划订购150台分子增压泵，用于该公司熔炼炉的全面改造。

深远的发展意义

分子增压泵不仅有可观的市场前景，其发展还可以带来巨大的社会效益。

首推节能。按应用罗茨泵、扩散泵和分子泵的总量为年需求量的7倍，推广应用率为50％计算，则推广应用总量达5万台。按平均节省能耗80％，每台节能5kW计算，则年节电达25亿度。

第二，提升我国真空产业的水平。分子增压泵是一项从理论创立、结构发明、直至批量生产，均由我国科技人员完成的原创性科技成果，具有完整、自主的知识产权。

第三，优化产业结构，带动相关产业的发展。以分子增压泵为核心，可发展成一个具有国际先进水平的、包括真空设备和真空产品在内的大型真空产业集团，优化产业结构。