提高MEMS供给能力,促进信息消费

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2013年8月，国务院《关于促进信息消费扩大内需的若干意见》，为拉动国内有效需求，信息消费被寄予厚望。如何发展信息消费，国发“32号文”从产业端作出了明确指示：“增强信息产品的高端供给能力”，信息产品主要指智能终端、基础电子、软件服务，基础电子又重点包括平板显示、集成电路、传感器三个方面。本文重点论述横跨集成电路和传感器两大领域，现今被各地广泛关注的微系统（MEMS）产业，应该如何发展以促进信息消费。

应遵循MEMS技术的发展规律

研究MEMS的发展历程，每一代新产品从概念到应用，都要经过提出理论、发明新工艺、研制新器件、批量生产的过程。自1959年美国物理学家费曼教授提出“微机械”设想开始，到上世纪90年代，全球各国对微系统的研究投入了大量资金，将微系统带入高速发展期。随着90年代的全球MEMS商业化浪潮兴起，以企业为主体的MEMS研发、生产、应用体系在国外已经发展成熟，但在中国还处于艰难的形成阶段。

MEMS的产业化需要工艺先行和长期的投入。以美国为例，1962年Kulite公司首次研制出硅微压力传感器，使用硅膜、压敏电阻和体硅腐蚀，成为MEMS微传感器和MEMS体加工（Bulk micromachining）的起始点；而直至1974年，美国国家半导体公司才推出优化过的压力传感器，开始批量生产，前后历经12年的时间跨度。

由以上MEMS技术的发展规律可以看出，政府营造良性的产业发展环境，必须遵循MEMS技术发展的客观规律。

中国政府高度重视MEMS技术的开发和产业化，沿着MEMS技术发展路线布局产业，先期侧重于对高校和军工系统工艺研发平台的投入。自上世纪90年代初期，北京大学微电子所、清华大学微电子所，以及复旦大学和东南大学率先开始了MEMS研究，建设了MEMS工艺研发生产线。时至今日，中科院、电子、航天、兵器各系统参与MEMS研究的科研机构达到40余家，国产MEMS传感器开始小批量应用于国防等特殊应用领域。

应着力建设开放式公共服务平台

目前，国内MEMS工艺平台承载有限，增强平台建设是目前产业界迫切需要解决的问题。虽然中科院微系统所、中电科技集团第十三研究所等科研机构建有MEMS工艺平台，但随着MEMS产业进入新发展阶段，军工、科研系统产品逐渐稳定，批量化的生产使产线的运行处于相对饱和，而高等院校在产线的管理和利用方面存在天然瓶颈。同时，作为产业创新主体的企业，面对庞大的前期研发费用，以及行业普遍存在的人才缺口，在MEMS产业化道路上举步维艰。因此，MEMS工艺平台需要承担起培育产业、培养人才、支持创新的责任，为广大企业服务。

建设MEMS工艺平台应充分考虑资金的投入产出比，以相对经济的方式购买先进设备，为有潜力的企业提业化前期的研发服务。

MEMS工艺平台应具有开放性，广泛服务致力于MEMS产业化的各类企业：其一为中小型设计公司，一般由海外归国人员创办，技术基础较好但需要国内提供相对完善的流片服务，以便以较低的成本打开市场；其二为具有雄厚实力的大型公司，一般从事综合性业务或供应整机，出于垂直整合的需要向产业链上游拓展，力求掌握更多的核心技术来控制成本，在研制MEMS产品初期需要政府提供工艺平台调试产品。

借助MEMS公共服务平台促进产业发展，不能“重建设、轻运营”。MEMS公共服务平台的主要作用是支持企业研发，平台的运营涉及多个利益相关者的切身利益，因此管理机制非常关键，决定了平台运营效率和对产业的带动作用。首先，平台运营需要在法律和制度的保障下进行，尊重、保护企业的知识产权和商业利益，按照成熟市场的商业规则规范地运行。其次，平台运营需要充分进行市场开拓，以贴补产线运营所产生的大量费用，维持基本的盈亏平衡。最后，平台运营要真正做到开放性，包括所有设备资源、研究场地、技术支持等，通过申请的研究所、高校和企业均享有平等的机会从事科研和产品的开发。

应做好产业的保障措施

发展MEMS离不开优质企业和人才，需要政策保障企业有足够的积极性参与MEMS的研发和产业化，保障产业界源源不断地得到高端技术人才。

（一）利用各项政策减轻重点MEMS企业的负担

相对于整机产品，MEMS的产业化在技术、生产工艺、市场开拓等方面往往面临更大的挑战，产业周期长、风险大，需要企业具有战略眼光和国际视野，关注密切相关的上下游产业的变化。企业往往需要一次性、较大规模的进行生产、检测设备投入，政府应该从政策上减轻重点企业的负担，在土地、税收、融资、研发方面给予倾斜，提高企业参与mems产品研发和产业化的积极性。

（二）政策、配套双管齐下吸引高端人才

与集成电路采用标准工艺不同，MEMS制造每一款产品工艺技术都存在较大差异，而一条产品线往往只能做一个类型的产品，因此吸引、培养设计与工艺并重的复合型领军人才非常关键。

政府需要利用良好的创业环境、科研环境吸引高端人才，吸引人才的同时也应该重视留住人才，不仅应该做好人才落户、个人税收政策等相关服务，还应该健全当地的生活环境，提供完善的医院、学校、商业等配套设施，解决高级人才的后顾之忧。

综上所述，发展MEMS产业不能脱离MEMS的发展规律和中国目前产业的实际状况，政府引导产业发展应重在建平台、做服务，强化创新基础、提高创新层次，提升基础电子的高端供给能力，从而释放信息消费的潜力。