浅谈半导体净化空调的设计及应用
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【摘要】随着社会的不断进步，对电子产品的需求也是与日俱增，从而推动了半导体行业飞速发展。随着制造工艺不断进步，对空气洁净技术和温湿度等环境参数的控制也是愈发严格。文章从洁净室空调系统、空气洁净技术、热湿处理、应用场合并结合工程实例进行阐述，对相关的工程设计和应用方案选择进行探讨。
1洁净空调技术简介
洁净空调技术起源于美国军事工业，是传统空调技术的延伸和发展，历经60多年的发展特别是近30年半导体工业快速发展而壮大，它主要运用空调洁净技术理论并结合洁净建筑材料、洁净处理设备、控制系统和输送系统及洁净系统管理来支持半导体工业的发展需求，是一门新兴的学科。
2洁净空调系统的类别
洁净室按照空气洁净原理可以分为单向流和非洁净室两种；如按照空调系统组成来分又可分为集中式和半集中式两大类，集中式主要为AHU（组合式净化空调机组）模式，半集中式主要有MHU+AHU（新风机组+净化空调机组）、MHU+RCU（新风机组+自循环机组）、MHU+FFU（新风机组+风机-过滤器单元）三大类。
3四种模式应用对比
3.1关于RCU和FFU的选择
RCU是一种小型带冷盘管的循环过滤器机组，国内最早在20世纪90年初期从美国引进，机组由无蜗壳风机、中效过滤段、电机变频器、冷盘管等组成；FFU是一种模块化的风机过滤单元，在20世纪90年代中期从国外引进，单元比较简单由ULPA过滤器、微型轴流风机组成。
3.1.1RCU
由于RCU机组的风机全压较大（可达500Pa以上），自带温控冷盘管，非常适合于那些过滤器初阻力较大，室内空调热湿负荷差异较大，且一个洁净室需要全面温湿度恒大控制的系统；缺点是盘管易漏水，采用正压密封方式空气容易泄漏，噪声较大且能耗较高。
3.1.2FFU
由于采用了标准龙骨，FFU更换非常方便，特殊的负压密封技术（FFU相对洁净室是负压，有泄漏会回到FFU区域，而不会进入洁净室），且集中式冷盘管又设置在下夹层的回风道中，消除了洁净室漏水隐患；但由于冷盘管是集中制冷，对洁净室内的动态温度场控制不均匀是其明显不足。
3.1.3RCU和FFU的应用场合
从上述两者的优缺点分析，RCU机组比较洁净室内传统式开放机台（机全依靠洁净环境来控制温湿度），机台的空调热湿负荷不均匀，且但又对温湿度环境要求非常严格的场合（如传统光刻、扩散、CVD、显影工序等）；FFU机组则比较适合洁净对漏水隐患防护要求极高，但温湿度环境控制相对比较宽松的场合。
鉴于准机械接口（SMIF）的设备大量应用，其设备采用了全封闭设计，设备内部设置了温湿度和过滤装置，因而SMIF制造环境下，制造过程有单独的微环境保障，洁净室内只需要提供相对比较宽松的温湿度环境即可，故FFU的净化空调模式完全能够满足其需求。
4洁净空调系统的热湿处理过程
5空气洁净度
6空气过滤器合理使用寿命
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7洁净空调工程实例简介
7.1工程概况
7.2主要技术参数