微细加工技术杂志 统计源期刊
主管单位：信息产业部 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
双月刊 审稿周期：3-6个月
《微细加工技术》由伍三忠担任主编，创刊于1983年，由信息产业部主管、中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本电子领域专业期刊。主要刊载该领域内的原创性研究论文、综述和评论等，力求及时、准确、全面的反映该领域的政策、技术、应用市场及动态。
- 43-1140/TN 国内刊号
- 1003-8213 国际刊号
- 0.19 影响因子
- 870 总被引量
- 1983 创刊时间
微细加工技术杂志介绍
《微细加工技术》是信息产业部主管、中国电子科技集团公司第48研究所主办的电子类学术期刊，该刊所发表的论文所涉及的学科领域主要有电子电信、自动化与计算机技术、理学、一般工业技术电子电信 / 物理电子学、电子电信 / 微电子学与固体电子学、自动化与计算机技术 / 控制科学与工程、自动化与计算机技术 / 检测技术与自动化装置。该刊于1983年创刊，本刊为双月刊。主要报道电子行业相关领域研究成果与实践。该期刊的创办有利于加强电子研究领域的学术交流，本刊将及时推出该领域的科研成果，使国内外同行能及时、方便地查阅、引用，为电子行业领域的发展做贡献。该杂志得到了广大作者、读者和外审专家的关心、支持和帮助 ，赢得了学术界认可和好评。《微细加工技术》主要设有综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等栏目。以广大的电子工作者为服务对象，是广大电子工作者发表专业论文和学习的学术平台。
微细加工技术期刊荣誉
微细加工技术投稿须知
1.来稿要求主题明确、结构严谨、数据可靠、文字简练。
2.注释序号用[1]、[2]、[3]……标识。正文中的注释序号统一置于包含引文的句子（有时候也可能是词或词组）或段落标点符号之后的右上角。
3.本刊要求所引用参考文献不得少于10篇，其中应包括一定数量的国外文献和近5年的文献。
4.中文题名不超过20个汉字，不使用副题名，英文题名应与中文题名含义相一致。
5.稿件首页包括：中文标题、作者姓名、中文摘要、中文关键词。
微细加工技术发文选摘
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1、选择性BF2^＋离子注入对提高DRAM刷新时间的研究
作者：彭坤 王飚 林大成 吴萍 外山弘毅
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2、利用压印技术制备大面积相变材料阵列
作者：刘彦伯 钮晓鸣 宋志棠 闵国全 万永中 张静 周伟民 李小丽 张挺 张剑平
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3、增强双光子微细加工分辨率的新技术
作者：韦晓全 李艳秋 高国华 朱煜 马竞
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4、超薄阳极氧化铝模版的制备
作者：胡迪 白安琪 成步文 王启明
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5、多弧离子镀（Ti，Al，Cr）N硬质膜的沉积工艺与力学性能
作者：王闯 张钧
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6、Z箍缩柱面丝阵负载装配微张力控制器研制
作者：周忆 何洁 董元伟 彭万彬
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7、铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究
作者：高阳 李以贵 张俊峰
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8、光敏微晶玻璃-PDMS微流控芯片制备及电渗性能研究
作者：程莉莉 王升高 邓晓清 余冬冬 李艳琼 汪建华
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9、乳胶体系流延片叠层制备ZnO压敏陶瓷材料研究
作者：华伟刚 张鹤 贺艳 崔学民
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10、用于传感的聚合物微谐振环的研制
作者：郭洪波 鄂书林 邓文渊 孔光明
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